完全合规：即也适用于复杂的基材轮廓，例如锋利的边缘、钻孔或盲孔从层厚度约为 0.5 µm 时起就已经无针孔 (“pinhole-free”)。化学不可溶并且耐抗诸多化学物质。 对湿气和化学物质具有非常好的阻隔特性。 具有较高的介电击穿强度。 具有干润滑特性（较低的 摩擦系数）。 具有疏水性：H2O 的接触角介于 92 ° 和 98 ° 之间。 在可见波长范围内（取决于类型）的 90％ 到 96％ 之间是透明的。 具有生物相容性：可以沉积 C 和 N 型聚对二甲苯，可以根据 USP Class VI、 ISO 10993 和 FDA 进行认证。
不同类型的Parylene及其特点：
Parylene N 基本模型，仅由氢、碳原子组成。非凡的裂隙、孔洞渗透力。良好的介电特性和介电强度，因而更适于电子元件和组件的镀层。摩擦系数低，在支架的应用广受欢迎。符合FDA标准 Parylene C 使用较多的产品，具有出色的防护性能。良好的斥水性使其具高防潮性能。高弹性，因而适于塑料和橡胶制品。低摩擦系数。高沉积速率（高达10 microns/h）。符合FDA标准 Parylene D 温度稳定性有所提高，寿命更长。但同时也具备斥水性。用于航天业中电子元件的保护。 Parylene F-VT4 由于其温度荷载能力甚至强于Parylene D，因而正在逐渐取代D。价格比Parylene HT更低廉。 Parylen F-AF4 目前所有类型中温度稳定性较高的。而且，这种类型对于高辐射照射非常不敏感，尤其是紫外线。这种昂贵，因而只在要求一些特殊性能时才会用到。
1. 电子/传感器技术
• 暴露在腐蚀性介质,湿度大或高辐射环境中的电子元器件。
• 安全要求较高的高质量装置
• 延长LED,传感器等重要电子器件的使用寿命
2. 医疗
• Parylene抵抗所有的体液的侵蚀-植入体
• 较低限度的磨损（优于聚四氟乙烯），具有优良的滑动性，易于插入支架、手术针和导尿管
• 美国FDA认证可直接接触食品
• 符合ISO 10993认证,医疗器械的生物学特性和生物相容性
3. 航空航天
• 系统故障可能导致人员物资的损失，因而，必须努力为重要的部分采取尽可能的保护
• 符合航空及军事标准（US MIL-I-46058C, UL listed, NBC AR 70/ AFR 80-38/ Navinst 3400.2）即使在其他领域也能提供高应力和安全性。
• 聚对二甲苯HT能以低漆膜厚度抵抗高能量辐射（重量体积比要求低）
4. 工业、设备
• 垫圈（o型环）的涂层能便于装配（低摩擦系数），或提高寿命
• 光学元件的保护性和自洁式涂层
• 弹性体通常对臭氧、碳氢化合物、紫外线很敏感。聚对二甲苯能提供长期保护。
• 容器、药水瓶、电子管的屏蔽涂料
| 主要技术参数 |
1. PC全自动控制系统Windows Full PC 2. 涂层厚度: 0.05 ~ 100 um 3. 裂解管功率及温度: 4 kW / max. 850 °C 4. 样品舱:Φ640*H800mm 5. 样品台:Φ560*H650mm 6. 压力：1 x 10-3 mbar 7. 冷却方式：液氮 8. 真空泵系统：Leybold D60双级油泵排气速度63m3/h极限真空度0.5Pa 控制: 9. 压缩空气：6 bar 不含油且干燥 10. 外形尺寸：W2600*D1000*2000mm 11. 电源：3 相位/400 V/32 A/50-60 Hz |
选配：涂层材料;Parylene N/Parylene C/Parylene D/Parylene F-VT4
冷却方式：冷阱
耦合剂CVD
等离子预处理模块：80kHz 0~5kW
