完全合规：即也适用于复杂的基材轮廓，例如锋利的边缘、钻孔或盲孔从层厚度约为 0.5 µm 时起就已经无针孔 (“pinhole-free”)。化学不可溶并且耐抗诸多化学物质。 对湿气和化学物质具有非常好的阻隔特性。 具有较高的介电击穿强度。 具有干润滑特性（较低的 摩擦系数）。 具有疏水性：H2O 的接触角介于 92 ° 和 98 ° 之间。 在可见波长范围内（取决于类型）的 90％ 到 96％ 之间是透明的。 具有生物相容性：可以沉积 C 和 N 型聚对二甲苯，可以根据 USP Class VI、 ISO 10993 和 FDA 进行认证。
Parylene类型：
1. 电子/传感器技术
• 暴露在腐蚀性介质,湿度大或高辐射环境中的电子元器件。
• 安全要求较高的高质量装置
• 延长LED,传感器等重要电子器件的使用寿命
2. 医疗
• Parylene抵抗所有的体液的侵蚀-植入体
• 较低限度的磨损（优于聚四氟乙烯），具有优良的滑动性，易于插入支架、手术针和导尿管
• 美国FDA认证可直接接触食品
• 符合ISO 10993认证,医疗器械的生物学特性和生物相容性
3. 航空航天
• 系统故障可能导致人员物资的损失，因而，必须努力为重要的部分采取尽可能的保护
• 符合航空及军事标准（US MIL-I-46058C, UL listed, NBC AR 70/ AFR 80-38/ Navinst 3400.2）即使在其他领域也能提供高应力和安全性。
• 聚对二甲苯HT能以低漆膜厚度抵抗高能量辐射（重量体积比要求低）
4. 工业、设备
• 垫圈（o型环）的涂层能便于装配（低摩擦系数），或提高寿命
• 光学元件的保护性和自洁式涂层
• 弹性体通常对臭氧、碳氢化合物、紫外线很敏感。聚对二甲苯能提供长期保护。
• 容器、药水瓶、电子管的屏蔽涂料
| 主要技术参数 |
1. 控制系统: Windows Full PC控制系统 2.涂层厚度: 0.05 ~100 um 3.外形尺寸：W2700*D2600*1600mm: 4.裂解管功率及温度: 4 kW / max. 850 °C 5.样品舱：Φ700mm*H720mm 6.样品台：Φ600mm*H660mm 7.冷却方式：液氮 8.真空泵系统：Leybold D60双级油泵排气速度63m3/h极限真空度0.5Pa |
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选配：
涂层材料;Parylene N/Parylene C/Parylene D/Parylene F-VT4
冷却：冷阱
耦合剂CVD
