韩国进口等离子清洗机设备CUTE-1MPR

 
二、系统配置：

 
         2、主系统：
             •卧式矩形腔体，无焊接的单块铝(最大限度地减少泄漏)，
               内部尺寸：140x200x110 mm(WxDxH)
             •均匀气流设计(专利号10-1697205)
             • PE模式(单电极)
             •真空流量计：皮拉尼(约5x10-4Torr)
 
         3、流量控制器(MFC)：
              •高重复性MFC
              •数量：2(Forx2气体管路)
              •工艺气体：O2、Ar、N2、空气等气体都可使用/气体流量：最大100sccm(以1 sccm为增量可调)
 
         4、发生器：
             •频率范围：20~100 kHz(以10 kHz为增量可调)
             •功率：最大100W(1 W增量可调)
 
         5、控制软件：
              •整个系统具有高度可控性的交互式用户界面
              •7英寸触摸式彩色屏，工业级PC系统软件控制
              •手动和全自动模式(最多10个预先存储的工艺配方)
              • USB闪存数据传输