低温等离子体设备表面处理的形式
等离子体可分为两种:高温和低温等离子体。低温等离子表面处理的电离率较低，电子温度远高于离子温度，离子温度甚至可与室温相当。所以低温等离子表面处理是非热平衡等离子体，低温等离子表面处理中存在着大量的、种类繁多的活性粒子，比通常的化学反映所产生的活性粒子种类更多、活性更强，更易于和所接触的材料表面发生反映，因此它们被用来对材料表面进行改性处理。
等离子体指部分或完全电离的气体，且自由电子和离子所带正、负电荷的总和完全抵消，宏观上呈现中性电。等离子体又叫做电浆，是由部分电子被剥夺后的原子及原子被电离后产生的正负电子组成的离子化气体状物质，它广泛存在于宇宙中，常被视为是除去固、液、气外，物质存在的第四态。
一，表面刻蚀。这是等离子体表面处理技术常见的形式之一，在等离子体的作用之下，进行表面处理的时候，材料表面的化学键会发生断裂，从而形成一些小分子产物，这些产物在抽气过程中被抽走，这样的话就会使得材料表面变得凹凸不同，使得粗糙度得到增加。
二，表面活化。同样是在等离子体的作用下，难粘的塑料表面会出现部门活性院子以及不饱和键，它们跟活性粒子接触之后会反应生产新的活性基团，这些带有活性基团的材料由于受到氧的作用，使得其表面的活性基团消失，所以这种活性是具有一定的时效性的。
三，表面接枝。进行等离子体表面处理的时候，由于活性粒子对表面分子的作用，使得分子链断裂从而产生更多的活性基团，接下来会发生表面交联以及接枝等反应。
