系列 |
Atto 手动控制 |
Atto 外部PC控制 |
Atto 集成PC控制 |
控制系统 |
手动型、通过模拟计时器测定工艺时间 |
PC-控制系统 (Microsoft Windows XP) |
PC-控制系统 (Microsoft Windows CE) |
体积 |
10.5L |
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真空腔室 |
玻璃材质、∅ 211 mm、长 300 mm |
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样品支架 |
1个样品支架 |
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气源 |
2 个由针型阀控制的气体通道 |
2 个由 MFCs 控制的气体通道 |
2 个由 MFCs 控制的气体通道 |
高频电流发生器 |
40 kHz/200 W 或者 13.56 MHz/50 W,300W |
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真空泵 |
8 m3/h |
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外尺寸 |
宽 525 mm、高 275 mm、深 450 mm |
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电源电压 |
AC220V |