等离子清洗机的清洗原理
什么叫等离子体呢？等离子体和固态、液体或气体一样，是物质的一种状态，也叫物质的第四态。对气体施加足够的能量使之离子化便成为等离子状态。等离子体包括离子、电子、活性基团、激发态的核素、光子等。
等离子清洗机就是利用高压电激发气体形成等离子体从而对材料表面进行各种工艺的处理。
等离子清洗机采用不同的气体作为清洗介质，对材料表面进行清洗活化蚀刻等工艺。低压真空等离子体会外接一台真空泵，工作时首先把腔体内抽真空抽到一定的压力，当预抽真空压力到达时，导入工艺气体，通过改变进气量和压力，可以使腔体内气体等离子化，腔体内的等离子体便会和材料表面发生化学反应和物理轰击，通过改变工艺参数达到不同的工艺效果，比如 清洗、活化、蚀刻、涂层。
在真空的状态下进行等离子处理是非常彻底和高效的，并且清洗的污染物会通过真空泵排出腔体外。需要注意的是等离子清洗是精密清洗，纳米级的清洗，若材料表面污染物太过厚重，可以先用超声波或者其他方式预清洗一下，再用等离子清洗洗不掉的有机物或者电学力附着的微尘。
等离子清洗机除了具有清洗的功能外，在特定条件下还可根据需要改变某些材料表面性能，等离子体作用于材料表面，使表面分子的化学键发生重组，形成新的表面特性。
对某些有特殊用途的材料，在等离子清洗过程中不但加强了材料表面的粘附性、附着力、相容性和浸润性，并可消毒和杀菌。
等离子清洗机应用的范围也很广，普遍适用于光学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学及半导体企业和工业行业。
