等离子清洗机对于材料表面处理可以做清洗，活化，蚀刻和涂层。对于材料表面的改造，蚀刻和涂层的效果是永久性的，那么如果表面要做清洗和活化的工艺该怎么去测试呢？
清洗的原理是工艺部件的表面通过离子束的物理轰击而被清洗，也可与特定气体发生化学反应从而被清洗，清洗掉的工艺污染物转化为气相被排出。
活化的原理是工艺部件表面通过氧气或空气处理后，会在表面形成氧原子团，这样能使部件表面亲水性和表面张力提高，能使涂料和粘接剂更好的附着于上，提高其的粘合力和附着力。
鉴于以上两种效果，材料表面做完清洗活化之后，比较直接经济的方式是用水滴法，可以用微升一次性注射器先吸入微量纯水，等离子处理前可在材料表面滴入微量水滴，观察处理前表面水滴角，等离子处理之后再用注射器滴入微量水滴，此时再观察水滴角，可以发现等离子处理完之后，水滴会变得更加平铺，水滴角更小，这样便说明等离子之后使得材料表面活性增强了，亲水性得到提高。
以上方法是比较直接但是略为粗糙，比较精确的方法有表面能量测试剂。
由于每种材料都有其特定的表面张量，表面能量测试剂提供了一种快速简便的测试方法，且成本较低，例如塑料，玻璃或者金属材料表面张力测试都可以用此种方法。
还有一种是接触角测量仪，需要用仪器直接检测出等离子处理之后材料表面接触角具体是多少度，此种方法成本略高些，需要配备接触角测量仪。
该仪器原理是，接触角是液体与固体交界面所形成的角度，若液体被强力地吸附于固体表面，其液滴将会在固体表面完全展开，其接触角近似0°。因此，接触角越小，表面活性越好，亲水力越强。
